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计量仪器
产品基础知识介绍
CNC视象坐标测量仪基础
CNC视象坐标测量仪基础
观察光路
视象坐标测量仪与所谓的机器视觉系统的最大的区别在于前者的光学系统是适合于精密测量用的.这样的系统要求采用物方远心光路,对畸变也必须有很好的抑制作用。对肉眼、相机等普通光学系统而言,近方物体看着比较大,远方物体看着比较小,物体位置的变化会造成成象尺寸的变化(见图2-1);但在物方远心光路中,物方主光线平行于光轴,即使物体前后位置有变,其象的大小也不会有什么变化(见图2_2)。NEXIV VMR的光学系统是按照精密测量目的设计的,畸变控制在0.1%以下,在各档倍率下都能保证很高的精度。
进行视象测量时,为了获得高测量分辨力,必须有比较高的光学放大倍数;另一方面,快速的测量寻的又需要在较低的倍数下进行,视象坐标测量仪需要在一台设备上,把这两者很好地、有机地结合起来。NEXIV VMR标准机型搭载有15X大变倍比的光学变焦头,并配有专门设计的物镜,可以在0.5~30X的变焦范围内,确保足够的数值孔径、以及长达50mm的工作距离,因此,整个设备具有很强的可操作性。标准机型根据倍率不同,有3个子型号可选,同轴可扫描激光和双层、8方向程控环形斜照明都属于标准配置。其中,子型号Type 1和Type 2一般比较适合普通加工件、成型件的测量。
最近,随着超细微加工、半导体封装、微机电系统等技术的发展,对微米量级的测量需求也越来越多、越来越高,为了满足这方面的要求,我们开发了超高变倍比的机型(Z120X型),其变倍范围可达1~120X,高倍模式下的数值孔径达0.55,低倍模式下的视场达数mm,可以满足某些领域的尖端测量要求。
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