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NEXIV VMR系列标配硬件
一、1、2、3型机的标配硬件
专为NEXIV VMR设计的、高品质专用物镜
该物镜数值孔径高达 0.35,工作距离长达 50 毫米,经过专门的消畸变设计,可以充分保证工件视窗的窗内测量精度,特别适合于视频图象的精密坐标测量。
具有15 倍变焦比的光学头
3 个型号(1、2、3 型)各自有 5 级放大倍率。15倍变焦比的5段自动变焦镜组,可以在各段(倍率)间进行自由切换,以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。
放大倍率与视场(毫米)
上述总放大倍率为17 英寸液晶显示器,设置为 SXGA(1280×1024)模式时,显示器屏幕上的放大倍率。
已升级的TTL 激光自动对焦装置
该装置具有对焦速度快、工作距离长、测量精度高的特点,它可以在低倍条件下实现对具有高度差的狭窄区域的自动对焦。它还可以进行每秒1000 点的高速扫描,实现多种高精度 Z 轴扫描测量。
TTL激光自动对焦装置的构成
用激光扫描得到的锡球表面(三维鸟瞰显示)
高速高精度影象自动对焦
由于采用了新的图象数据处理时序以及逐行扫描CCD,使影象自动对焦具有更高的速度和准确度。影象自动对焦适用于不能使用 TTL 激光自动对焦的场合,例如对倾斜度较大的斜面以及回转体外侧边界的对焦。利用多重影象自动对焦功能,能够同时测量视场内多个不同高度的点。
多种照明方式
VMR 系列有多种照明方式可供选择,能够为工件提供理想的照明,这包括:
八方向独立可控LED环形斜照明,分内外两层照明环,其中:
内环照明(与光轴的夹角为 37度);
外环照明(与光轴的夹角为 75度)。
反射照明(顶部光);
透射照明(底部光)。
8方向LED环形照明
先进的照明手段,使您能够看清通常不易看清的边界,从而可以准确地检出边界。此外,VMR系列的照明条件可以程序控制、记忆,编辑也很方便,可以做多语句同时指定。
二、高倍机的标配硬件
新开发的高倍头 VMR-Z120X
这种新的镜头组,通过使用可以相互切换两个物镜与变焦头的有机组合,实现从 1倍到 120 倍的光学放大倍率。该系统在高倍下具有非常高的工件视窗窗内测量重复精度,8 级放大倍率总能使您能找到一个合适的倍率,并且可以实现从低倍大视场搜索,直到最小测量线宽约为1 微米的高倍观察与精密测量。
放大倍率与视场(毫米)
上述总放大倍率为 17 英寸液晶显示器,设置为 SXGA(1280×1024)模式时,显示器屏幕上的放大倍率。
低放大倍率
1X
2X
4X
7.5X
高放大倍率
16X
32X
64X
120X(线宽6微米)
细光束、高分辨率 TTL 激光自动对焦装置
TTL激光自动对焦装置的构成
该装置配备有高数值孔径的物镜,具有激光光束细、光斑直径小的特点,能够进行超小激光光点测量。能够显著提高在纤薄的透明或半透明材料(如光阻材料)表面,或不规则反射面上对焦及扫描的性能。可以以最大为每秒1000 点的速度进行高速扫描测量,从而在多种应用中实现超高精度 Z 轴测量。
64X
120X(线宽6微米)
三种照明类型
通过三种 CNC 可控照明____高倍垂直反射与透射、暗场照明,可以向各种工件提供最佳的照明,从而确保各种待测边界可被准确、可靠地探测。
三、LU型机的标配硬件
CFI60 光学系统使用代表了尼康光学技术的最高水平的CFI60 光学系统,能摄取明亮的、高对比度的图象,使系统更加适合于大型液晶显示板及其彩色滤色片的测量。该系统既能通过图象处理技术实现工件的尺寸测量,又能用于观察目的。此外,它还可以通过使用高对比度DIC,增强DIC 成象能力。
LU型光学头 LU型用CFI60系列物镜群
通用电动物镜转换器
通过对电动物镜转换器的操控,CNC 测量程序可以改变放大倍率,并为显微观察选择最优放大倍率以及最佳的物镜。
从测量到数据处理的自动控制
易于使用的软件可控制系统所有的功能,从各种照明的控制,到图象处理以及载物台的移动,测量过程实现自动化控制,确保测量结果的准确一致。使用 LU 型时,以下操作需要手动进行:明场与暗场照明的切换;视场光阑及孔径光阑的设置;起偏器*、检偏器*与Nomarski 棱镜的设置。但此项是有电动型选配件的。
电动旋转起偏器/检偏器(选配)
可选配的电动旋转起偏器/检偏器使操作人员能够根据工件情况优化图象对比度。这样在进行 DIC 成象时,可以看到更加明显的微分干涉效果。

各种 CFI60 物镜
CFI60 光学系统最大限度地抑制了杂光,并具有数值孔径(N.A.)高和工作距离(W.D.)长的特点,所以能够摄取明亮的、高对比度的图象。VMR 系列可使用包括 CFI LU 平场 BD在内的各种 CFI60 通用物镜镜头。

   *使用EPI系列物镜时, 需使用LU物镜转接环。
LCD观测用CFI物镜

   *工作距离与玻片厚度较正环的定位有关。
放大倍率及视场大小

   *出厂选件为0.5x镜筒透镜或1.0x镜筒透镜
LCD 物镜镜头的作用
请比较使用平场EPI物镜和LCD物镜,隔着玻璃时的观察效果。使用LCD观测用CFI物镜,即便是隔着玻璃,图象依然清晰可见。
使用平场EPI物镜镜头
使用LCD物镜镜头

Nomarski DIC 图象

CFI  LU平场BD 20x 物镜
采用 DIC 显微术,微小的高度差可以呈现为明亮的高对比度图象,所以能够观察 ACF(各向异性导电膜)焊接过程中的颗粒分布情况。

暗场图象

CFI  LU平场BD 50x 物镜
暗场显微术便于观察物体表面细微颗粒、刮痕等。
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