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CNC视频图象坐标测量仪
NEXIV VMR-K3040ZC

这是一款共聚焦(Confocal)型的视频图象坐标测量仪,它能够在同一视场内,同时完成二维平面和一维高度的高精度测量。高速、高精度地检测最先进的IC封装的立体形状。

1、2、3 型
利用共聚焦光路,实现大视场、高速、高精度的微观高度测量;
在同一视场内,能够同时完成二维平面和一维高度的高精度测量;
同时拥有普通机型的15倍高速CNC变焦光学系统,可以进行明暗场图象的二维几何测量;
8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置;
通过对硅片尺寸、芯片尺寸、芯片间隔的指定,可以按图定位测量其中的任意一个芯片;
具有等高线显示、鸟瞰显示等选配功能。
应用领域:
硅片级芯片封装(二维+高度)、MEMS、Probe Card等。
明场
共聚焦
合成效果
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