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FPD/LSI检查显微镜
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型

 集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统,在亮度、对比度和可操作性能方面都达到最新的高度,适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。

最大观察样品:Ø300 mm晶片
 
观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定);
 
使用CFI60光学系统,彻底消除耀斑影响,对比度更高,成象更加清晰、明亮;
物镜齐焦距为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求;
主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能;
光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳;
 
 
    
                 L300ND/反射.透射照明两用型
   

规格

  ECLIPSE L300N ECLIPSE L300ND
(落射照明型) (透射/落射照明型)
主机

内置12V-50W卤素灯光源;内置用于电动控制器的电源

用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、

光圈叶片控制器

 

物镜转换器:具备物镜转换器

对中功能的电动通用六座物镜转换器

          — 反射/透射切换器
调焦
部分

对焦部:行程29mm

粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能)

微调:0.1mm/转(以um为单位)

反射
照明部

12V50W高亮度卤素灯照明装置

孔径光阑(电动.可调心)、视场光阑(固定.带对焦目标)

可插入小孔光阑滑块(OPTION)

可插入∮25mm滤光片(NCBND2ND4)、起偏器/检偏器

观察方法:明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光

(仅用于L300N/L300ND/L200ND

透射
照明部
         —

12W50W高亮度卤素灯
照明装置

内置孔径光阑

内置LWD聚光器

接口 USBx1RS232C(用于Intensilight)x1
镜筒

L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒(视角030°

视场数25、光分光100:0/0:100

L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒(俯角0~30°)

视场数25、光分光100:0/20:80

LV-T13正立三目镜筒

视场数25、光分光100:0/0:100

目镜 CFI目镜
物镜 CFI60系列物镜

载物台

14x12载物台、行程354mmx302mm

(透射观察范围:354mmx268mm

带粗/微动切换功能

微动手轮位置固定

防静电
功能
从1000到10V放电时间在0.2秒以内
耗电 1.2A/90W
尺寸 约360(W)x581(H)x951(D)mm(倾斜角度为10°时)
 
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