光学放大倍数最高可达120X,能够测量微距线宽;
高精度 TTL 激光自动对焦装置,具有激光光束细、光斑小的特点,支持精细激光扫描测量;
特别适合经过精细加工的小型精密零件的测量;
可选配表面形貌分析软件(Bird's-Eye View),用来显示 MEMS 部件的三维表面形貌。
应用领域:
高密度印刷电路板、液晶、掩膜板、网格板、半导体封装(二维+高度)、Probe Card等。
高密度印刷电路板、液晶、掩膜板、网格板、半导体封装(二维+高度)、Probe Card等。
拥有650 x 550 x 150mm量程的全自动非接触式三维坐标测量系统。它测量速度快、精度高,擅长测取接触式量仪所无法测量的各种零部件尺寸。它不仅适用于PCB板、平板显示器部件等大尺寸工件的高精度测量,也适用于多个小零件批量检测以及生产工序的质量分析控制。8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置。15倍变焦比的5段程控变焦镜组,可以在各段(倍率)间进行自由切换,以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。

